以氩气为粗漏示踪气体的积累氦质谱组合检测方法

• 作者: 李宁博 李飞 王庚林 董立军
• 来源期刊: 中国电子科学研究院学报
• 学科: 工学
• 关键词: 积累氦质谱检漏仪 粗漏细漏组合检漏 局限性 氩气粗漏检测 氦气细漏检测 适用性
• 年，卷（期）: 2015,（4）
• 所属期刊栏目: 工程与应用
• 页码范围: 436-441,447
• 页数: 7页
• 分类号: TB42
• 字数: 6373字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1673-5692.2015.04.020

摘要

介绍了积累氦质谱检漏仪的出现和积累氦质谱组合检测方法的提出,分析了现行美国军用标准采用的以氦气为粗漏细漏示踪气体组合检测方法的局限性,介绍了改进这种方法的发明专利,指出改进后在适用严密等级THemin和内腔容积V范围方面的局限性.论述了以氩气为粗漏示踪气体、以氦气为细漏示踪气体的积累氦质谱组合检测方法的优越性,给出了设计这种专利方法的逻辑思路和理论公式,指出这种方法对需要检测的THemin和V范围,具有良好的适用性,并且提出了改进积累氦质谱检漏仪的要求.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王庚林		24	61	4.0	6.0
2	李宁博		10	42	4.0	6.0
3	董立军		11	29	3.0	5.0
4	李飞		10	42	4.0	6.0