W波段行波管用金刚石输能窗封接工艺及机理研究

• 作者: 张小勇 杨磊 梁田 王玉春 胥辉 董笑瑜 陆艳杰 高志强
• 来源期刊: 真空电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: 金刚石膜 Au-Ni-V2.5活性钎料 气密封接 机理分析
• 年，卷（期）: 2015,（4）
• 所属期刊栏目: 电子陶瓷和封接工艺专辑
• 页码范围: 11-14
• 页数: 4页
• 分类号: TB756
• 字数: 2638字
• 语种: 中文

摘要

结合输能窗封接结构的仿真优化和驻波系数及带宽的仿真计算,采用Au-Ni-V2.5体系活性钎料在真空条件下对化学气相沉积金刚石及4J34可伐合金进行活性封接,分析焊缝区的显微组织形态、成分分布,并简要说明了封接机理.结果表明:封接件漏率不大于l×l0-11 Pa· m3/s,实测驻波系数小于1.5,带宽大于7 GHz.