一种高成功率的薄膜截面TEM样品制备方法

• 作者: 尚海龙 廉政 张安明 戴嘉维 李戈扬 李荣斌 马冰洋
• 来源期刊: 理化检验-物理分册
• 学科: 工学
• 关键词: 薄膜 TEM 截面样品 样品制备
• 年，卷（期）: 2015,（4）
• 所属期刊栏目: 试验技术与方法
• 页码范围: 256-258,266
• 页数: 4页
• 分类号: TG115.22+1.2
• 字数: 2227字
• 语种: 中文

摘要

截面样品的制备是采用透射电镜(TEM)观察薄膜微结构的关键之一,该文分析了采用离子减薄法制备薄膜截面TEM样品成功率低的原因,并对原有方法进行了改进,提出了一种粘贴优半圆环遮挡单边离子束,防止待观察薄膜被正面轰击的薄膜截面TEM样品制备方法,该方法不仅操作简便,而且可大大提高制样成功率.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李荣斌	上海电机学院机械学院	39	108	5.0	8.0
2	戴嘉维	上海交通大学金属基复合材料国家重点实验室	18	231	7.0	15.0
3	尚海龙	上海电机学院机械学院	19	53	4.0	6.0
7	廉政	上海电机学院机械学院	3	2	1.0	1.0
8	马冰洋	上海交通大学金属基复合材料国家重点实验室	4	3	1.0	1.0
9	张安明	上海交通大学金属基复合材料国家重点实验室	4	3	1.0	1.0