薄膜截面的TEM样品制备

• 作者: 孔明 戴嘉维
• 来源期刊: 理化检验-物理分册
• 学科: 工学
• 关键词: 薄膜 截面TEM样品制备 超晶格
• 年，卷（期）: 2006,（5）
• 所属期刊栏目: 实验技术与方法
• 页码范围: 239-241
• 页数: 3页
• 分类号: TG115.22+1.2
• 字数: 2224字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-4012.2006.05.007

摘要

针对用于透射电镜观察的截面样品制备较为困难的问题,以不锈钢基底上沉积的VN/SiO2超晶格薄膜为例,介绍了薄膜截面TEM样品的制备方法与过程.