基于高分子聚合物毫米波滤波器快速制造技术

• 作者: 崔建利 张斌珍 段俊萍 赵龙
• 来源期刊: 微纳电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: 毫米波 聚二甲基硅氧烷(PDMS) NOA73 电磁性能 软光刻
• 年，卷（期）: 2015,（10）
• 所属期刊栏目: 加工、测量与设备
• 页码范围: 654-659
• 分类号: TH703|TN713
• 语种: 中文
• DOI: 10.13250/j.cnki.wndz.2015.10.008

摘要

利用UV-LIGA技术制作毫米波腔体滤波器SU-8主模结构,通过聚二甲基硅氧烷(PDMS)对所制作的SU-8主模结构进行一次复制,得到多个相同的负模结构,将负模结构浸泡在羟丙基甲基纤维素(HPMC)溶液中进行表面防粘处理.处理后,使用PDMS-PDMS软光刻技术和NOA73紫外固化技术进行二次复制,得到PDMS和NOA73材料的毫米波腔体滤波器.对快速复制出的滤波器的表面形貌、结构尺寸进行观测,对其电磁性能(中心频率、带宽、插损和回波损耗)进行测试.结果显示,该方法制备出的毫米波滤波器具有较好的电磁性能.采用该方法制作的毫米波腔体滤波器具有生产周期短、成本低、效率高和结构可靠的特点.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张斌珍	中北大学电子测试技术重点实验室	107	535	12.0	18.0
5	赵龙	中北大学电子测试技术重点实验室	12	37	4.0	5.0
9	段俊萍	中北大学电子测试技术重点实验室	40	96	6.0	7.0
13	崔建利	中北大学电子测试技术重点实验室	13	34	3.0	5.0