双光子聚合外齿轮组微加工

• 作者: 崔联合
• 来源期刊: 激光与光电子学进展
• 学科: 物理学
• 关键词: 激光技术 双光子聚合 外齿轮组 微细加工 photomer3015
• 年，卷（期）: 2015,（5）
• 所属期刊栏目: 激光器与激光光学
• 页码范围: 143-147
• 页数: 5页
• 分类号: O436
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/LOP52.051403

摘要

文章介绍了用自制双光子聚合加工系统对不同曝光时间下的外齿轮组的微加工成型性进行了研究.在photomer3015材料内实现了外齿轮组的双光子聚合微加工,通过扫描电镜(SEM)分析了外齿轮组的微观形貌.结果表明,随着曝光时间的增加,齿轮组成型性变得较好;曝光时间增加时,总加工时间增加.当激光功率为0.3 mW,曝光时间为10 ms时,成功实现了齿厚为2 μm、分辨率为1.0 μm的外齿轮组的双光子聚合微细加工.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	崔联合		6	11	2.0	3.0