双光子微纳加工技术结合化学镀工艺制备三维金属微弹簧结构

• 作者: 段宣明 董贤子 贾雁鹏 赵震声 郑美玲
• 来源期刊: 影像科学与光化学
• 关键词: 双光子微纳加工技术 化学镀 三维金属微纳米结构
• 年，卷（期）: 2014,（6）
• 所属期刊栏目: 论文
• 页码范围: 542-549
• 页数: 8页
• 字数: 2861字
• 语种: 中文
• DOI: 10.7517/j.issn.1674-0475.2014.06.542

摘要

利用飞秒激光双光子微纳加工技术与化学镀工艺制备了三维金属微弹簧结构.采用扫描电子显微镜(SEM)及选区电子能谱(EDS)对镀层进行了表征,当化学镀时间为15 min时,所得到的镀层厚度约为130 nm.对不同电镀时间下获得的镀层电阻率进行了测定,实验结果表明,当电镀时间为35 min时得到的镀层电阻率约为80×10-9 Ω·m,仅为银块体材料电阻率16×10-9 Ω·m的5倍.利用这种方法,我们制备了总长度为28.75 μm、周期为2.93 μm的悬空金属弹簧结构,其中弹簧圈数为9圈,直径为6 μm,弹簧线分辨率为1.17 μm.文中所述的将双光子微纳加工技术与化学镀技术相结合的方法可以实现任意三维微金属结构与器件的制备,在微光学器件、微机电系统(MEMS)及微传感器等领域有着广泛的应用前景.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	郑美玲	中国科学院理化技术研究所	10	23	3.0	4.0
2	段宣明	中国科学院理化技术研究所	25	80	5.0	7.0
6	赵震声	中国科学院理化技术研究所	17	64	4.0	7.0
7	董贤子	中国科学院理化技术研究所	14	35	3.0	4.0
8	贾雁鹏	中国科学院理化技术研究所	1	3	1.0	1.0