沉积条件对SiO2光子晶体表面形貌的影响

• 作者: 何磊 孟江 杭联茂 赵亚妮 闫刚印
• 来源期刊: 硅酸盐通报
• 学科: 物理学
• 关键词: 光子晶体 自组装 双基片垂直沉积
• 年，卷（期）: 2015,（4）
• 所属期刊栏目: 试验与技术
• 页码范围: 1127-1132
• 页数: 6页
• 分类号: O78
• 字数: 4210字
• 语种: 中文

摘要

自组装制备是一种常用的三维光子晶体制备方法,在制备光子晶体过程中影响薄膜质量的因素较多.本研究对原始的双基片垂直沉积法进行了一定的改进,控制光照强弱、蒸发速度快慢等条件,沉积了不同的SiO2光子晶体薄膜样品.通过与单基片垂直沉积法得到的薄膜样品进行比较,得到了双基片垂直沉积法沉积光子晶体薄膜样品的最优实验条件.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	孟江	西藏民族学院西藏自治区光信息处理与可视化技术重点实验室	20	13	2.0	2.0
2	赵亚妮	西藏民族学院西藏自治区光信息处理与可视化技术重点实验室	28	65	4.0	6.0
3	闫刚印	西藏民族学院西藏自治区光信息处理与可视化技术重点实验室	12	11	2.0	3.0
5	何磊	西藏民族学院西藏自治区光信息处理与可视化技术重点实验室	16	23	3.0	4.0
6	杭联茂	西藏民族学院西藏自治区光信息处理与可视化技术重点实验室	2	3	1.0	1.0