一种基于AlGaN和石墨烯的紫外-红外双色探测器

• 作者: 付凯 刘翌寒 孙世闯 张宝顺 曹伟 李洋 李绍娟 陈长清
• 来源期刊: 发光学报
• 学科: 工学
• 关键词: AlGaN 石墨烯 紫外-红外双色探测器
• 年，卷（期）: 2015,（10）
• 所属期刊栏目: 器件制备及器件物理
• 页码范围: 1167-1170
• 页数: 4页
• 分类号: TN215|TN23
• 字数: 1929字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/fgxb20153610.1167

摘要

通过MOCVD和CVD生长技术,利用高Al组分AlGaN和单层石墨烯材料进行纵向集成,成功制备了日盲紫外-近红外双色探测器。在工作温度为室温、调制频率为209 Hz以及工作电压分别为10 V和5 V的工作条件下,所制备的双色探测器在紫外波段263 nm处的响应度为5.9 mA/W,在近红外波段1.15μm处的响应度为0.67 mA/W,并且探测器的响应度均随着工作电压的增加而增大。