金属掺杂类金刚石纳米复合涂层的制备、结构与性能?

• 作者: 代伟
• 来源期刊: 新技术新工艺
• 学科: 工学
• 关键词: Me-DLC纳米复合 合成 微结构 性能
• 年，卷（期）: 2015,（7）
• 所属期刊栏目: 材料与热处理
• 页码范围: 124-126,127
• 页数: 4页
• 分类号: TB383
• 字数: 4323字
• 语种: 中文

摘要

金属掺杂类金刚石纳米复合薄膜(Me-DLC膜)具有诸多优异的力学、摩擦学、电学和生物学特性，尤其因其在降低残余应力方面的显著功效，近年来成为新型碳功能材料领域的研究热点和重要分支。主要综述了Me-DLC膜的常用制备技术，对金属掺杂导致类金刚石(DLC)薄膜的组分、结构和性能的变化规律进行了分析，阐述了金属掺杂导致的薄膜微结构演化与硬度、摩擦因数和残余应力之间的作用关系，最后提出了发展Me-DLC纳米复合薄膜的一些关键研究问题。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	代伟	广东工业大学机电工程学院	9	21	3.0	4.0