重力式芯片处理机温度控制技术研究

• 作者: 张吉月 王志俊
• 来源期刊: 工业仪表与自动化装置
• 关键词: 重力式芯片处理机 温度控制 分段PID
• 年，卷（期）: 2015,（2）
• 所属期刊栏目: 设计与应用
• 页码范围: 36-38,48
• 页数: 4页
• 分类号: TP273
• 语种: 中文

摘要

重力式芯片处理机温度控制过程中，由于被控对象数学模型的不确定性，运用常规PID控制存在着调节时间长、易超调和超调后冷却时间长的问题。采用系统辨识的方法确定被控对象的传递函数，在此基础上，运用了一种分段PID的方法有效地抑制了温度的超调，并减小了调节时间。仿真和实验证明了该方法的有效性，能满足重力式芯片处理机的工艺要求，同时提高了生产效率。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张吉月		29	245	6.0	15.0
2	王志俊		3	32	2.0	3.0