薄膜体声波谐振器的电磁兼容性分析

• 作者: 何婉婧 何移 周斌 李君儒 高杨
• 来源期刊: 压电与声光
• 学科: 工学
• 关键词: 薄膜体声波谐振器 电磁兼容 电磁场耦合 等效介电常数 高频电磁仿真
• 年，卷（期）: 2015,（1）
• 页码范围: 1-5
• 页数: 5页
• 分类号: TN713
• 字数: 3282字
• 语种: 中文

摘要

随着薄膜体声波谐振器(FBAR)工作频率及FBAR器件集成度的不断提高,FBAR器件的电磁干扰问题显得尤为突出.常用电学模型和有限元模型都假定FBAR中的电磁场为无源准静态场,无法仿真模型的相关电磁特性.使用HFSS高频电磁仿真软件建立了FBAR的三维电磁仿真模型,采用一个包含声场特性的等效介电常数,实现了FBAR电磁场分布、电磁场耦合与压电效应的一体化仿真.分析了高频电磁场分布及电磁场耦合对谐振特性的影响,通过优化FBAR与临近元件的间距及采用不同介电常数的基板材料,减小了电磁场耦合的干扰.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	高杨	中国工程物理研究院电子工程研究所	150	833	13.0	19.0
2	周斌	西南科技大学信息工程学院	16	77	5.0	8.0
4	何婉婧	西南科技大学信息工程学院	15	70	5.0	7.0
5	李君儒	西南科技大学信息工程学院	16	71	5.0	7.0
8	何移	西南科技大学信息工程学院	11	65	5.0	7.0