迈克耳孙干涉仪中的镜面面形误差研究分析

• 作者: 冯明春 刘文清 徐亮 李相贤 童晶晶 陈军 高闽光 魏秀丽
• 来源期刊: 光学学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 成像系统 迈克耳孙干涉仪 镜子 面形误差 调制度
• 年，卷（期）: 2015,（4）
• 所属期刊栏目: 光学器件
• 页码范围: 354-359
• 页数: 6页
• 分类号: O436.1
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/AOS201535.0423002

摘要

从迈克耳孙干涉仪干涉原理出发,分析了圆形镜面抛光面形误差对干涉调制度的影响.由于存在镜面面形误差,干涉调制度不能达到理想情况下的100％,但其干涉调制度不能低于理想情况下的90％.通过分析和讨论,镜面面形误差最好控制在λ/14以内,干涉调制度才可能不低于90％,这样干涉仪才能保持比较满意的性能.同时,使用Zygo干涉仪对5组平面镜的平面度进行了测量,得到了这5组平面镜的峰-峰值和其他一些参数,通过分析测量结果,这5组平面镜的平面度都能达到干涉调制度的要求.通过对迈克耳孙干涉仪中平面镜面形误差的研究,这对于干涉光谱仪的设计、研制和性能的分析都具有一定的指导意义.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘文清	中国科学院等离子体物理研究所	254	2646	27.0	40.0
2	徐亮	中国科学院等离子体物理研究所	70	791	16.0	24.0
3	高闽光	中国科学院等离子体物理研究所	40	285	9.0	16.0
4	陈军	中国科学院等离子体物理研究所	74	507	14.0	19.0
5	童晶晶	中国科学院等离子体物理研究所	17	62	5.0	7.0
6	李相贤	中国科学院等离子体物理研究所	10	9	2.0	3.0
7	魏秀丽	中国科学院等离子体物理研究所	11	33	4.0	5.0
8	冯明春	中国科学院等离子体物理研究所	4	0	0.0	0.0