复合离子液体中恒电流电沉积制备Ir层研究

• 作者: 李彭瑞 李海婷 李鑫 栾海静 钱建刚
• 来源期刊: 稀有金属材料与工程
• 学科: 工学
• 关键词: 复合离子液体 BMIC BMIBF4 电沉积 铱
• 年，卷（期）: 2015,（4）
• 所属期刊栏目: 材料工艺
• 页码范围: 961-965
• 页数: 5页
• 分类号: TQ153
• 语种: 中文

摘要

对BMIC+BMIBF4复合离子液体中利用恒电流电沉积的方法在Mo基体上制备Ir层进行了研究.利用扫描电子显微镜(SEM)和X射线光电子能谱仪(XPS)对Ir层的表面形貌和成分进行了分析.结果表明:在BMIC+BMIBF4+EG复合体系中可以电沉积制备平整致密的单质Ir层且影响因素较多,如温度、电流密度、主盐浓度及沉积时间等,且这些因素可调节的范围比较窄.通过对比各因素间的影响得出,在此复合体系中恒电流电沉积制备Ir层的优化工艺为IrCl3浓度50g/L,电流密度1.0 mA/cm2,沉积温度90℃,沉积时间20h.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	钱建刚		39	470	13.0	20.0
2	李鑫		30	195	7.0	13.0
3	李海婷		7	23	3.0	4.0
4	李彭瑞		7	23	3.0	4.0
5	栾海静		5	9	2.0	3.0