涂覆DLC薄膜的微球轴承接触特性研究?

• 作者: 王振波 王晓力 王犇
• 来源期刊: 润滑与密封
• 学科: 工学
• 关键词: MEMS 微球轴承 DLC薄膜 接触力学
• 年，卷（期）: 2015,（10）
• 页码范围: 1-6,35
• 页数: 7页
• 分类号: TH117.1
• 字数: 2648字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.0254-0150.2015.10.001

摘要

对涂覆DLC薄膜的MEMS球轴承的接触性能进行理论研究。根据微球轴承的接触型式，建立微球与表面涂覆DLC薄膜的滚道之间的有限元模型，考察不同DLC薄膜弹性模量和厚度，以及不同微球材料和直径对微球轴承接触特性的影响。结果表明，高弹性模量的厚DLC薄膜可以降低微球轴承滚道表面的最大径向拉应力和界面剪切应力，但却提高了最大接触压力；轴承内的轴向最大von Mises等效应力和界面应力梯度可通过减小DLC薄膜的弹性模量或增加薄膜厚度来降低；直径较大的440C不锈钢微球可以改善涂覆DLC薄膜的微球轴承的接触性能。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王晓力	北京理工大学机械与车辆学院	32	116	6.0	9.0
2	王振波	北京理工大学机械与车辆学院	2	2	1.0	1.0
3	王犇	北京理工大学机械与车辆学院	4	3	1.0	1.0