SAW氢气传感器频率特性分析

• 作者: 吴礼峰 唐光大 朱亚军 杨柳 殷晨波
• 来源期刊: 仪表技术与传感器
• 学科: 工学
• 关键词: 声表面波(SAW) 中心频率 插入损耗
• 年，卷（期）: 2015,（3）
• 所属期刊栏目: 传感器技术
• 页码范围: 1-2,6
• 页数: 3页
• 分类号: TP212.2
• 字数: 1505字
• 语种: 中文

摘要

基于ANSYS13.0建立了声表面波(SAW)传感器的三维有限元模型,选择金属钯膜作为传感器敏感薄膜,选用128°YX铌酸锂作为基底材料,输入和输出叉指电极(IDT)耦合在基底表面.给输入IDT施加单位阶跃信号,并对所得到的时域响应数据进行傅里叶变换得到传感器的中心频率和插入损耗.将仿真所得频率特性与实验结果进行对比,得到了可以降低插入损耗、提高传感器性能的方法.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	殷晨波	南京工业大学车辆与工程机械研究所	208	1210	16.0	23.0
2	朱亚军	南京工业大学车辆与工程机械研究所	6	10	2.0	2.0
3	杨柳	南京工业大学车辆与工程机械研究所	8	12	2.0	3.0
4	吴礼峰	南京工业大学车辆与工程机械研究所	1	2	1.0	1.0
5	唐光大	南京工业大学车辆与工程机械研究所	2	4	2.0	2.0