一种推挽驱动的微型磁传感器设计

• 作者: 徐华英 徐德辉 毕勤 熊斌 王东平
• 来源期刊: 传感器与微系统
• 学科: 工学
• 关键词: 磁传感器 微机电系统 电磁感应 推挽驱动
• 年，卷（期）: 2015,（9）
• 所属期刊栏目: 设计与制造
• 页码范围: 94-96
• 页数: 3页
• 分类号: TN305
• 字数: 2230字
• 语种: 中文
• DOI: 10.13873/J.1000-9787(2015)09-0094-03

摘要

利用MEMS工艺,设计并制作了一种梳齿推挽驱动的微型磁场传感器.在器件工作时,磁传感器的谐振振子工作在收缩或扩张的模态,进而引起谐振振子上的双层铝线圈包围面积发生变化,即回路线圈中的磁通量发生变化.根据电磁感应原理,将会在线圈的两端产生正比于磁场强度的感应电压.推挽驱动结构设计增加了谐振器驱动力,提高了磁传感器的灵敏度.实验结果表明:磁传感器在大气环境下的灵敏度为0.846 99 mV/T,非线性度为-0.265％.由于传感器采用差分检测电路,减小了磁传感器的零偏电压,零偏输出电压仅为0.0019 mV.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	熊斌	中国科学院上海微系统与信息技术研究所	54	412	11.0	16.0
2	徐德辉	中国科学院上海微系统与信息技术研究所	12	28	3.0	4.0
3	徐华英	中国科学院上海微系统与信息技术研究所	2	42	2.0	2.0
4	毕勤		1	4	1.0	1.0
5	王东平		1	4	1.0	1.0