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离焦补偿算法提高曲率半径测量精度的研究
离焦补偿算法提高曲率半径测量精度的研究
作者:
彭石军
苏东奇
苗二龙
基本信息来源于合作网站,原文需代理用户跳转至来源网站获取
测量
离焦补偿
曲率半径
立式干涉仪
摘要:
基于立式Fizeau型干涉仪曲率半径测量系统,提出了一种简捷的离焦补偿算法,该算法对猫眼和共焦零位置的离焦量进行补偿,达到了提高曲率半径测精度的目的.从理论的角度分析了待测面波前像差中的离焦量与待测面位置偏移量之间的线性关系,并得到了两者之间变化的斜率.结果表明,猫眼和共焦零位置附近离焦量的大小与待测面位置偏移量之间为线性关系,且拟合直线的斜率与理论值相一致.同时,当待测面在共焦位置存在离焦时,利用离焦补偿算法使曲率半径测量精度提高了一个数量级.
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文献信息
篇名
离焦补偿算法提高曲率半径测量精度的研究
来源期刊
激光与光电子学进展
学科
物理学
关键词
测量
离焦补偿
曲率半径
立式干涉仪
年,卷(期)
2015,(5)
所属期刊栏目
仪器,测量与计量
研究方向
页码范围
110-115
页数
6页
分类号
O436
字数
语种
中文
DOI
10.3788/LOP52.051204
五维指标
作者信息
序号
姓名
单位
发文数
被引次数
H指数
G指数
1
苏东奇
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
12
6
1.0
2.0
2
苗二龙
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
18
37
4.0
6.0
3
彭石军
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
8
0
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曲率半径
立式干涉仪
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
激光与光电子学进展
主办单位:
中国科学院上海光学精密机械研究所
出版周期:
半月刊
ISSN:
1006-4125
CN:
31-1690/TN
开本:
大16开
出版地:
上海市嘉定区清河路390号(上海市800-211信箱)
邮发代号:
4-179
创刊时间:
1964
语种:
chi
出版文献量(篇)
9127
总下载数(次)
28
总被引数(次)
35767
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