激光共焦透镜曲率半径测量系统

• 作者: 李佳 杨佳苗 赵维谦 邱丽荣
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 共焦透镜 曲率半径测量 非接触测量 激光干涉仪
• 年，卷（期）: 2013,（2）
• 所属期刊栏目: 现代应用光学
• 页码范围: 246-252
• 页数: 7页
• 分类号: TH741
• 字数: 3453字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/OPE.20132102.0246

摘要

基于共焦技术独特的轴向层析定焦能力并结合气浮导轨平移台和激光干涉仪测长系统,研制了一套高精度、非接触激光共焦透镜曲率半径测量系统.该系统利用共焦轴向光强响应曲线的峰值点对应系统物镜聚焦焦点这一特性,使用峰值点对被测透镜的猫眼位置及共焦位置进行精确定位,并结合激光干涉仪获得透镜猫眼位置及共焦位置坐标值,从而计算得到透镜的曲率半径.系统由主控软件控制气浮导轨带动被测透镜在猫眼位置及共焦位置附近进行扫描测量,并实现信号采集和数据处理.实验表明,利用该系统测量透镜的曲率半径时,测量重复性优于2 μm,满足国内高精度透镜曲率半径测量的精度需求.该系统测量速度快、操作简便、结构简单且易于实现小型化.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	邱丽荣	北京理工大学光电学院	42	160	7.0	11.0
2	赵维谦	北京理工大学光电学院	55	192	8.0	11.0
3	李佳	北京理工大学光电学院	13	48	3.0	6.0
4	杨佳苗	北京理工大学光电学院	4	44	2.0	4.0