热CVD制备定向竹节型碳纳米管生长机制分析

• 作者: 余宗胜 徐先锋 李刚
• 来源期刊: 材料热处理学报
• 学科: 工学
• 关键词: 热化学气相沉积 碳纳米管 生长机制 竹节型
• 年，卷（期）: 2015,（6）
• 所属期刊栏目: 材料研究
• 页码范围: 1-4
• 分类号: TB383
• 语种: 中文

摘要

用热化学气相沉积(CVD)技术,用乙炔为碳源,氮气为载气,氢气为还原气体,氨气为刻蚀气体,在单晶硅上制备出定向竹节型结构碳纳米管薄膜.用透射电镜(TEM),扫描电镜(SEM)的X衍射能量色散能谱仪(EDS)和X射线衍射仪(XRD)分析碳纳米管的精细结构,成分和晶型及结晶度,并对制备的碳纳米管的生长机制进行分析和推测.结果表明:在生长碳纳米管的过程中起催化作用的是金属镍颗粒而不是碳化镍,催化剂颗粒呈不同的形貌存在碳纳米管顶部,并遵循顶端生长方式.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李刚	华东交通大学机电工程学院	39	135	7.0	8.0
2	徐先锋	华东交通大学机电工程学院	21	90	6.0	8.0
3	余宗胜	华东交通大学机电工程学院	3	10	2.0	3.0