金刚石刀具nm级表面轮廓质量多参数集成测量方法

• 作者: 岳晓斌 崔海龙 张晓峰 徐敏 雷大江
• 来源期刊: 强激光与粒子束
• 学科: 工学
• 关键词: 原子力显微镜 金刚石刀具 表面轮廓质量 多参数集成测量
• 年，卷（期）: 2015,（11）
• 所属期刊栏目: 微纳技术
• 页码范围: 209-214
• 页数: 6页
• 分类号: TH117.2
• 字数: 3562字
• 语种: 中文
• DOI: 10.11884/HPLPB201527.114102

摘要

为有效解决金刚石刀具表面轮廓质量评价指标分散、无法进行全面系统测量的难题,基于原子力显微镜和超精密回转轴系,提出了实现前后刀面粗糙度、刃口锋利度和刃口微豁三个关键指标的集成测量方法.根据金刚石刀具表面轮廓质量的测量要求,以原子力显微镜扫描系统、气浮隔振平台、二维移动平台以及精密回转轴系为基础构建测量系统,精确测量了金刚石刀具刃口附近的表面微观形貌;采用基于MATLAB开发的专用测量软件对原始数据进行处理,得到金刚石刀具前后刀面粗糙度值、刃口锋利度值和刃口微豁范围;并对测量误差进行了分析,提出了控制要求.通过上述自主开发的测量仪器,可以高效、完整地描述金刚石刀具表面轮廓质量,能够实现nm级粗糙度、亚μm级锋利度以及μm级微豁的准确测量.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	雷大江	中国工程物理研究院机械制造工艺研究所	27	147	8.0	11.0
2	岳晓斌	复旦大学光科学与工程系	28	153	8.0	10.0
4	张晓峰	中国工程物理研究院机械制造工艺研究所	10	27	3.0	4.0
5	崔海龙	中国工程物理研究院机械制造工艺研究所	19	96	5.0	9.0