条纹反射法检测光学反射镜面形

• 作者: 付锦江 周润 张峰 袁婷 陶小平
• 来源期刊: 光子学报
• 学科: 工学
• 关键词: 条纹反射 光学检测 光线追迹 误差分析
• 年，卷（期）: 2015,（9）
• 所属期刊栏目: 仪器,测量,度量学
• 页码范围: 86-91
• 分类号: TN247
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/gzxb20154409.0912004

摘要

针对光学反射镜在精磨向初抛光过渡阶段时面形与理想面形存在较大偏差的问题,采用轮廓仪和普通干涉仪检测无法满足加工检测需求的问题,提出采用动态范围大且准确度高的条纹反射法来检测光学反射镜.研究分析了条纹反射检测系统的原理及系统误差,运用光线追迹软件对条纹反射检测100 mm口径反射镜面形进行建模仿真,并对已经加工完成的100 mm口径旋转对称球面反射镜进行了检测,测量得到的面形误差峰谷值及均方根值分别为0.523 μm和0.086 μm,满足该过渡阶段的检测需求.