基于椭偏成像光路和表面等离子体共振效应的金属薄膜参数测量方法研究

• 作者: 曾爱军 胡仕玉 胡国行 谷利元 贺洪波 黄惠杰
• 来源期刊: 中国激光
• 学科: 物理学
• 关键词: 测量 金属薄膜参数 表面等离子体共振效应 椭偏成像光路
• 年，卷（期）: 2015,（11）
• 所属期刊栏目: 测量与计量
• 页码范围: 164-169
• 页数: 6页
• 分类号: O439
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/CJL201542.1108001

摘要

提出了一种基于椭偏成像光路和表面等离子体共振效应的金属薄膜参数测量方法,在椭偏成像光路中采用p偏振光在金属薄膜与空气界面产生表面等离子体共振效应,利用不产生表面等离子体共振效应的s偏振光消除背景光的影响,得到表面等离子体共振吸收环垂直方向的归一化反射率曲线,数值拟合获得待测金属薄膜的薄膜参数,这种方法不需要求解椭偏方程,数据处理过程简单,求解速度快.实验中,基于该方法的测量结果与标准椭偏仪的测量结果基本一致,很好地验证了该方法的有效性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	贺洪波	中国科学院上海光学精密机械研究所	48	491	16.0	19.0
2	黄惠杰	中国科学院上海光学精密机械研究所	69	544	13.0	23.0
3	曾爱军	中国科学院上海光学精密机械研究所	33	188	8.0	13.0
4	谷利元	中国科学院上海光学精密机械研究所	2	0	0.0	0.0
5	胡国行	中国科学院上海光学精密机械研究所	5	0	0.0	0.0
6	胡仕玉	中国科学院上海光学精密机械研究所	1	0	0.0	0.0