铝诱导表面织构玻璃及其对硅薄膜陷光作用的影响

• 作者: 刘丰珍 刘勇 曹勇 董刚强 郭宇坤
• 来源期刊: 人工晶体学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 铝诱导织构 热丝化学气相沉积 硅薄膜 陷光结构 玻璃衬底
• 年，卷（期）: 2015,（8）
• 页码范围: 2028-2033
• 页数: 6页
• 分类号: O484
• 字数: 4032字
• 语种: 中文

摘要

采用铝诱导表面织构方法在玻璃衬底上制备了蜂窝状的凹坑结构;使用热丝化学气相沉积技术在该类衬底上制备了硅薄膜.扫描探针显微镜(SPM)图像表明,通过改变刻蚀时间、刻蚀溶液比例、Al膜厚度和退火时间等制备条件,可以有效控制玻璃表面凹坑结构的尺寸,使其在直径上从0.5μm到6μm,深度上从60 nm到700 nm可调.光吸收谱测试表明此类衬底对硅薄膜的光吸收有着明显的增强效果,以凹坑平均直径为2.3 μm,深度为358nm的铝诱导表面织构玻璃为衬底所制备的厚度为150 nm的硅薄膜,在350～1200 nm波长范围内的光吸收与使用平面玻璃为衬底的样品相比可提高28.5％.凹坑的尺寸大小对光吸收增强效果有重要影响.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘勇	中国科学院大学材料科学与光电技术学院	211	1777	22.0	33.0
2	刘丰珍	中国科学院大学材料科学与光电技术学院	17	105	4.0	10.0
3	曹勇	中国科学院大学材料科学与光电技术学院	12	187	6.0	12.0
4	董刚强	中国科学院大学材料科学与光电技术学院	3	1	1.0	1.0
5	郭宇坤	中国科学院大学材料科学与光电技术学院	2	2	1.0	1.0