硅尖阵列的制备及其在真空微电子加速度计中的应用

• 作者: 尚正国 李东玲 温志渝 王胜强
• 来源期刊: 强激光与粒子束
• 学科: 工学
• 关键词: 硅尖阵列 湿法腐蚀 氧化锐化 真空微电子加速度计
• 年，卷（期）: 2015,（2）
• 所属期刊栏目: 微/纳米制备与测量技术
• 页码范围: 66-70
• 页数: 5页
• 分类号: TN305.7
• 字数: 434字
• 语种: 中文
• DOI: 10.11884/HPLPB201527.024113

摘要

针对微电子器件,提出了一种简单、低成本、便于批量加工的硅尖阵列制备方法.分析了各向异性和各向同性湿法腐蚀的特点,研究了不同腐蚀液中硅尖的形成机理和腐蚀速率,采用扫描电子显微镜(SEM)观测硅尖形貌.结果表明:在质量分数40％KOH腐蚀液中添加I2和KI,显著减小了削角速率,得到了呈“火箭尖”的硅尖阵列.各向同性腐蚀采用HNA腐蚀液,腐蚀的硅尖呈埃菲尔铁塔形.通过调整腐蚀液配比,氧化锐化后,硅尖尖端曲率半径小于15 nm.该硅尖阵列已成功应用于真空微电子加速度计之中.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	温志渝	重庆大学新型微纳器件与系统技术国家重点实验室	143	1259	18.0	26.0
5	王胜强	重庆大学新型微纳器件与系统技术国家重点实验室	6	7	2.0	2.0
9	尚正国	重庆大学新型微纳器件与系统技术国家重点实验室	10	33	4.0	5.0
13	李东玲	重庆大学新型微纳器件与系统技术国家重点实验室	7	21	4.0	4.0