聚硅氧烷光波导损耗无损测量图像的消旋及尺寸估计

• 作者: 刘长海 徐蓉 温昌礼 门涛
• 来源期刊: 光学学报
• 学科: 工学
• 关键词: 光学器件 光波导 聚硅氧烷 无损测量
• 年，卷（期）: 2015,（6）
• 所属期刊栏目: 仪器,测量与计量
• 页码范围: 145-150
• 页数: 6页
• 分类号: TN256
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/AOS201535.0612005

摘要

近年来,由于传统的电互连技术暴露其固有的瓶颈问题,光互连技术成为研究的热点.而有机物光波导以其独有的优势,在光互连中占据了主要地位.聚硅氧烷光波导是最适合850 nm波段的有机物光波导之一.研究波导的过程中,一直存在着难题:如何实现波导的高精度无损测量.而电荷耦合器件(CCD)无损测量法具有操作简单等优势成为研究的热点.针对CCD测量法中存在的如何保证测量图像中光的传输方向,保持较高精度水平以及如何较高精度地确定CCD视场内的波导通光长度问题,提出了聚硅氧烷光波导损耗无损测量图像的消旋理论和方法,以及估计CCD视场内波导通光长度的理论和方法,并和传统的截断法结果进行了对比,验证了方法的正确性和有效性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	温昌礼		2	0	0.0	0.0
2	徐蓉		3	2	1.0	1.0
3	门涛		4	3	1.0	1.0
4	刘长海		2	0	0.0	0.0