高纯SiF4气体中杂质的定量分析方法研究

• 作者: 何元琴 唐安江 张文娟 韦德举
• 来源期刊: 山东化工
• 学科: 工学
• 关键词: 四氟化硅 杂质 定量
• 年，卷（期）: 2015,（16）
• 所属期刊栏目: 分析与测试
• 页码范围: 98-100
• 页数: 3页
• 分类号: TQ127.2
• 字数: 2406字
• 语种: 中文

摘要

高纯度四氟化硅(SiF4)是新型硅烷法制备多晶硅的一种重要原料,其纯度影响硅烷及多晶硅的纯度及用途.本文对国内外市场上SiF4产品质量做了对比分析,并对以氟硅酸为原料生产SiF4气体中:含氧氟硅化合物、碳氢化合物、氟化氢、金属元素、碘等杂质提出定量分析方法.为国内生产高端的SiF4产品检测提供帮助.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	唐安江		28	32	3.0	4.0
2	韦德举		15	21	3.0	4.0
3	何元琴		5	11	2.0	3.0
4	张文娟		15	16	3.0	3.0