固体薄膜制备技术

• 作者: 王强
• 来源期刊: 黑龙江科技信息
• 关键词: 薄膜 制备 新技术
• 年，卷（期）: 2015,（20）
• 所属期刊栏目: 科技论坛
• 页码范围: 136-136
• 页数: 1页
• 字数: 1996字
• 语种: 中文

摘要

简要叙述了近年来固体薄膜制备技术，运用新技术进行薄膜样品的制备及性能的比较，主要介绍了目前应用较普遍的几种方法：如脉冲激光沉积法(PLD)、化学气相沉积法(CVD)、溶胶—凝胶法(Sol-Gel)等。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王强	陕西学前师范学院计算机与电子信息系	7	10	2.0	2.0