提高磨削效率改善表面疵病

• 作者: 王健 谢瑞清 陈健 陈福恭
• 来源期刊: 大科技
• 学科: 工学
• 关键词: 表面疵病 抛光效率 氧化铈 环抛
• 年，卷（期）: 2015,（20）
• 所属期刊栏目: 工艺与设备
• 页码范围: 178-179
• 页数: 2页
• 分类号: TG580.692
• 字数: 2802字
• 语种: 中文

摘要

为满足强激光系统对光学元件表面疵病的高要求,提出了一种利用抛光效率来提高元件表面质量的新工艺,这种工艺基于现代光学环抛技术.在抛光胶和抛光液的质量水平难以大幅度提升的前提下,这种工艺以提高元件表面疵病去除效率来获得零损伤的光学元件,有助于提高元件批量化生产的合格率.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王健		25	165	9.0	11.0
2	陈健		2	0	0.0	0.0
3	谢瑞清		7	35	4.0	5.0
4	陈福恭		2	0	0.0	0.0