零差激光干涉仪的大范围位移测量与精度分析

• 作者: 张佳欢 王鸣 祝宏彬 郭冬梅 陈俊雹
• 来源期刊: 光电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: 位移测量 零差激光干涉仪 立方角锥棱镜 实时精密测量 误差分析
• 年，卷（期）: 2016,（1）
• 所属期刊栏目: 研究与试制
• 页码范围: 5-11
• 页数: 7页
• 分类号: O436|TN249
• 语种: 中文

摘要

研制了一种实用性强的零差激光干涉仪,采用立方角锥棱镜代替平面反射镜,克服了传统激光干涉仪光路调节困难的问题,并将其应用到大量程的位移测量中.研究了该改进型零差激光干涉仪的位移测量原理及信号处理方法.实验中,使用PI公司高精度的商用导轨来标定测量结果,通过比较测量结果来验证干涉仪的性能.实验结果表明,在百毫米级大范围位移测量中该干涉仪的位移测量精度可以达到小于0.7 μm.对测量过程中各种可能的误差来源进行了详细的分析,分析结果与实验相符.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王鸣		91	636	14.0	20.0
2	郭冬梅		17	60	4.0	7.0
3	张佳欢		2	0	0.0	0.0
4	祝宏彬		3	4	1.0	2.0
5	陈俊雹		2	4	1.0	2.0