两种测定难熔单晶晶面偏离角方法的对比

• 作者: 刘竞艳 李鹏 田弋纬 苗壮
• 来源期刊: 理化检验-物理分册
• 学科: 工学
• 关键词: 难熔单晶体 晶面 偏离角
• 年，卷（期）: 2016,（1）
• 所属期刊栏目: 试验技术与方法
• 页码范围: 17-20
• 页数: 4页
• 分类号: TG115.22+2
• 字数: 2517字
• 语种: 中文
• DOI: 10.11973/lhjy-wl201601005

摘要

单晶晶面偏离角的测定是单晶生长和加工过程中的重要环节，通过试验比较研究了两种测定难熔单晶晶面偏离角方法的优缺点。结果表明：在试样高速旋转同时对试样进行固定2θ角扫描的θ扫描方法，能够快速准确地测定出偏离角，测定效率高，完全可以满足现阶段单晶生产过程中对晶面偏离角测定的要求。而另一种方法是由(ω，φ)二维数据确定出晶面偏离角和晶面方位，但该方法测试时间过长，效率低下。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	苗壮		20	203	4.0	14.0
2	田弋纬		12	84	3.0	9.0
3	李鹏		6	6	1.0	2.0
4	刘竞艳		11	52	4.0	7.0