基于二维 X 射线衍射技术的 TiH2薄膜残余应力分析

• 作者: 唐兵华 杜继实 雷杨俊 马明旺
• 来源期刊: 原子能科学技术
• 关键词: 氢化钛薄膜 二维 X 射线衍射 残余应力
• 年，卷（期）: 2016,（8）
• 所属期刊栏目: 技术及应用
• 页码范围: 1498-1503
• 页数: 6页
• 分类号: TG115.22
• 语种: 中文
• DOI: 10.7538/yzk.2016.50.08.1498

摘要

氢化钛(TiH 2)的多数 X 射线衍射(XRD)峰与 Mo 的衍射峰峰位很接近，采用传统θ-2θ扫描 X 射线衍射方法很难获得 Mo 基底上 TiH 2薄膜的较好的衍射峰形。本文采用 XRD 分析了 Mo 基底上TiH 2薄膜的残余应力，为获得足够的薄膜衍射信息，通过掠入射二维 X 射线衍射法消除了薄膜基底衍射信号对薄膜衍射峰的干扰影响。采用纳米压痕仪测得的 TiH 2薄膜样品的弹性模量及 TiH 2薄膜的(311)衍射晶面，利用掠入射二维 X 射线衍射法和侧倾法测定了 TiH 2薄膜样品中不同深度范围的残余应力。测试结果表明，在 TiH 2薄膜样品中，随着深度的增加，薄膜样品中的残余应力由张应力逐渐转变为压应力，且张应力和压应力均表现为呈椭圆形分布的正向应力。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	唐兵华	中国工程物理研究院电子工程研究所	9	47	3.0	6.0
2	雷杨俊	中国工程物理研究院电子工程研究所	15	65	4.0	7.0
3	马明旺	中国工程物理研究院电子工程研究所	5	6	1.0	2.0
4	杜继实	中国工程物理研究院电子工程研究所	8	4	1.0	1.0