薄膜材料X射线衍射物相分析与内应力测定

• 作者: 姜传海 徐祖耀 陈世朴
• 来源期刊: 理化检验-物理分册
• 学科: 工学
• 关键词: 二维X射线衍射 薄膜 物相深度分析 内应力
• 年，卷（期）: 2002,（11）
• 所属期刊栏目: 专题报告
• 页码范围: 478-481
• 页数: 4页
• 分类号: TG115.21|TG115.23
• 字数: 2556字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-4012.2002.11.004

摘要

基于不对称布拉格反射理论,介绍了薄膜材料二维X射线衍射分析方法,并对铝合金表面的TiN薄膜进行了分层掠射分析,证实了该分析方法的可行性.结合掠射、侧倾、内标及交相关函数定峰等技术,改进了常规X射线应力测量方法,测量了上述薄膜中的内应力,表明可显著提高内应力测量精度.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	徐祖耀	上海交通大学材料科学与工程学院	85	1495	23.0	36.0
2	姜传海	上海交通大学材料科学与工程学院	46	243	9.0	13.0
3	陈世朴	上海交通大学材料科学与工程学院	35	259	10.0	15.0