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An effective estimation of distribution algorithm for parallel litho machine scheduling with reticle constraints
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摘要：
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文献信息
| 篇名 | An effective estimation of distribution algorithm for parallel litho machine scheduling with reticle constraints | ||
| 来源期刊 | 高技术通讯（英文版） | 学科 | |
| 关键词 | |||
| 年，卷（期） | 2016,（1） | 所属期刊栏目 | |
| 研究方向 | 页码范围 | 47-54 | |
| 页数 | 8页 | 分类号 | |
| 字数 | 语种 | 英文 | |
| DOI | 10.3772/j.issn.1006-6748.2016.01.007 | ||
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高技术通讯(英文版)
主办单位：
中国科学技术信息研究所(ISTIC)
出版周期：
季刊
ISSN：
1006-6748
CN：
11-3683/N
开本：
大16开
出版地：
北京三里河路54号2143信箱
邮发代号：
创刊时间：
1987
语种：
eng
出版文献量（篇）
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