微型填充式气相色谱柱的制备

• 作者: 刘锦华 孙建海 宁占武 张艳妮 朱小锋 陈振海 马天军
• 来源期刊: 强激光与粒子束
• 学科: 工学
• 关键词: 微型填充式气相色谱柱 微型色谱系统 分离效率 样品容量
• 年，卷（期）: 2016,（6）
• 所属期刊栏目: 微纳技术
• 页码范围: 064122-1-064122-4
• 页数: 1页
• 分类号: TN242
• 语种: 中文
• DOI: 10.11884/HPLPB201628.064122

摘要

为了分离永久性气体及低碳轻化合物，基于 MEMS 技术，研究制备了一种微型填充式的气相色谱柱。为了增加色谱柱的长度以及深宽比，色谱柱的沟道制备采用了激光刻蚀技术，这种技术可以方便的在玻璃基底上刻蚀出深沟道，这是其他化学腐蚀技术无法比拟的。研制的色谱柱其沟道横截面为1.2 mm（深度）×0.6 mm（宽度），深宽比为2∶1。实验结果表明，这种微型填充柱，具有较大的样品容量，能很好的实现 CO 和 SO2的分离。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	孙建海	中国科学院电子学研究所	20	82	6.0	8.0
2	马天军	中国科学院电子学研究所	8	19	3.0	4.0
3	陈振海	中国科学院电子学研究所	4	9	2.0	3.0
4	宁占武		13	73	5.0	7.0
5	张艳妮		6	25	3.0	5.0
6	朱小锋		3	16	2.0	3.0
7	刘锦华		3	7	2.0	2.0