新型程控真空碳化设备研制与应用

• 作者: 唐榕 张吉峰
• 来源期刊: 真空电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: 碳化压力 阴极电流 碳化时间 程控控制 一致性
• 年，卷（期）: 2016,（2）
• 所属期刊栏目: 工艺与应用
• 页码范围: 64-68
• 页数: 5页
• 分类号: TN105
• 字数: 3508字
• 语种: 中文

摘要

本文首先分析了传统碳化设备在实现碳化工艺过程中存在的问题(包括碳化压力不稳定、阴极电流不受控、碳化时间精度差等),然后针对这些问题进行了系统的研究,基于研究成果设计了新型程控真空碳化设备,并对新型和传统碳化设备做了大量应用对比实验.实验结果证明,在实际应用中新型程控真空碳化设备能够精确控制碳化压力、阴极电流及时间等参数,解决了传统碳化设备的瓶颈问题,具有碳化质量高、结果一致性好、生产效率高等优点.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	唐榕		7	3	1.0	1.0
2	张吉峰		13	4	1.0	1.0