一种气压传感器新型标定补偿方法

• 作者: 卫克晶 周晓宇 孙学金 方震 杜利东 赵湛
• 来源期刊: 强激光与粒子束
• 学科: 工学
• 关键词: MEMS 气压 传感器 恒温
• 年，卷（期）: 2016,（6）
• 所属期刊栏目: 微纳技术
• 页码范围: 064114-1-064114-5
• 页数: 1页
• 分类号: TN242
• 语种: 中文
• DOI: 10.11884/HPLPB201628.064114

摘要

通常气压传感器的标定补偿方法复杂耗时，开发了一种新的方法去简化气压传感器的标定补偿。首先，设计恒温结构，并通过 PID 算法自动调节，使气压传感器的核心敏感元件工作于某一个固定温度（此温度稍高于气压传感器需要工作的最高温度点）；其次，把气压传感器在与这个固定温度点相等的环境温度下进行标定；最后，完成标定后不管环境温度如何变化，气压传感器敏感元件始终工作在一个恒定的温度，因此气压传感器的标定与补偿可以得到简化。经测试，气压传感器在一定的环境温度范围内实现恒温工作，标定后可以以较高的精度测量气压，实验结果表明经过标定补偿后的气压传感器可以在实际中应用。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	孙学金	解放军理工大学气象海洋学院	75	565	13.0	21.0
2	赵湛	中国科学院电子学研究所	54	723	10.0	26.0
3	杜利东	中国科学院电子学研究所	63	104	7.0	8.0
4	方震	中国科学院电子学研究所	32	605	8.0	24.0
5	卫克晶	解放军理工大学气象海洋学院	14	59	4.0	7.0
6	周晓宇	解放军理工大学气象海洋学院	1	0	0.0	0.0