基于微带谐振器的三维约束微波微等离子体源的实现

• 作者: 于新海 唐佳丽 明小祥 王正东
• 来源期刊: 华东理工大学学报（自然科学版）
• 学科: 工学
• 关键词: 微带谐振器 HFSS 微等离子体 斯塔克展宽
• 年，卷（期）: 2016,（2）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 271-276
• 页数: 6页
• 分类号: TN136
• 字数: 2957字
• 语种: 中文
• DOI: 10.14135/j.cnki.1006-3080.2016.02.019

摘要

通过理论计算及HFSS仿真设计了微带谐振器,并通过比对三维约束结构存在的HFSS仿真结构验证了三维结构的可行性.实测制备的微带谐振器空载谐振频率为2.5 GHz,回波损耗系数(S11)为一17.94 dB.该微带谐振器成功实现了三维约束微尺度下,工作频率为2.5 GHz,工作压强范围为30 Pa至大气压、功率范围为0.7～6 W时的微等离子体放电.通过光谱仪检测压强为7.5×104 Pa下的Hβ谱线,应用斯塔克展宽求得此压强下平均电子密度为5.54×1013 cm-3,该值符合微等离子体源的电子密度值.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王正东	华东理工大学承压系统与安全教育部重点实验室	96	922	16.0	24.0
2	于新海	华东理工大学承压系统与安全教育部重点实验室	24	125	7.0	10.0
3	唐佳丽	华东理工大学承压系统与安全教育部重点实验室	2	0	0.0	0.0
4	明小祥	华东理工大学承压系统与安全教育部重点实验室	2	0	0.0	0.0