飞秒激光脉冲数对P型HgCdTe激光打孔成结效果的影响

• 作者: 公民 戴晔 查访星 潘晨博 邵军 陈熙仁
• 来源期刊: 红外与毫米波学报
• 学科: 工学
• 关键词: 碲镉汞 PN结 激光束诱导电流 飞秒激光打孔
• 年，卷（期）: 2016,（1）
• 页码范围: 52-56
• 页数: 5页
• 分类号: TN215
• 字数: 2826字
• 语种: 中文
• DOI: 10.11972/j.issn.1001-9014.2016.01.010

摘要

飞秒激光对p型HgCdTe打孔形成PN结.该实验基于1 kHz低重复频率飞秒激光采用不同脉冲数在p型HgCdTe上打孔形成尺寸不同的微孔结构.实验发现脉冲数是影响成结效果的重要参数.激光诱导电流(LBIC)检测表明,随着脉冲数由单个增至10个,微孔侧壁反型层宽度由13.5 μm减小到10.5 μm.当脉冲数增大至100个时,微孔LBIC信号曲线已严重偏离PN结所对应的正负峰对称线形,意味着结特性趋于失效.对LBIC曲线拟合表明,单脉冲打孔形成的PN结给出最大的载流子扩散长度,约为17.μm,而10个脉冲对应的环孔PN结扩散长度则减小为12 μm.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	戴晔	上海大学理学院物理系	22	64	4.0	8.0
2	潘晨博	上海大学理学院物理系	1	0	0.0	0.0
3	陈熙仁	中国科学院上海技术物理研究所红外物理国家重点实验室	3	0	0.0	0.0
4	公民	上海大学理学院物理系	1	0	0.0	0.0
5	邵军	中国科学院上海技术物理研究所红外物理国家重点实验室	6	18	2.0	4.0
6	查访星	上海大学理学院物理系	4	10	2.0	3.0