飞秒激光对P型碲镉汞打孔的形貌和PN结特性研究

• 作者: 周松敏 张波 李茂森 查访星 殷菲 郭青天 马洪良
• 来源期刊: 红外与毫米波学报
• 学科: 工学
• 关键词: 碲镉汞 PN结 激光束诱导电流 飞秒激光打孔
• 年，卷（期）: 2010,（5）
• 页码范围: 337-341
• 分类号: TN215
• 字数: 2827字
• 语种: 中文

摘要

激光束诱导电流(LBIC)检测实验表明,飞秒激光刻蚀P型碲镉汞形成的孔洞结构具有PN结特性.实验研究了激光刻蚀功率、激光聚焦透镜数值孔径等参数对刻蚀孔形貌的影响,发现在较低的激光功率范围内,孔径与激光功率基本呈线性关系.刻蚀孔反型层的厚度也与激光功率基本呈线性关系,但不同激光功率刻蚀所形成孔结构的LBIC信号强度的改变不大.另外,还研究了刻蚀激光在材料中聚焦深度对刻蚀孔LBIC信号的影响,发现该因素的影响并不明显.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张波	中国科学院上海技术物理研究所	209	2133	20.0	38.0
2	马洪良	上海大学理学院物理系	27	72	5.0	7.0
3	查访星	上海大学理学院物理系	4	10	2.0	3.0
4	李茂森	上海大学理学院物理系	2	9	2.0	2.0
5	郭青天	上海大学理学院物理系	3	10	2.0	3.0
6	周松敏	上海大学理学院物理系	1	7	1.0	1.0
7	殷菲	中国科学院上海技术物理研究所	2	26	2.0	2.0