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摘要:
本文通过对泡生法蓝宝石长晶炉中真空计的失效形式进行分析,找出了其失效根源为真空计内部附着着一层黑色污染物,降低了真空计电离能力从而失去真空检测精度,文中通过分析污染物的化学成分,找出污染物的来源,通过更换真空计的检测位置、改变设备的真空度及增加真空计防污染装置,从而解决了真空计的污染的问题.
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文献信息
篇名 泡生法蓝宝石长晶炉真空计污染失效的解决方法
来源期刊 房地产导刊 学科 物理学
关键词 蓝宝石 真空计 防污染 解决方法
年,卷(期) 2016,(35) 所属期刊栏目 研究探讨
研究方向 页码范围 143
页数 1页 分类号 O782
字数 1848字 语种 中文
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44-1486/F
大16开
广东省广州市
46-233
2000
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