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电子调制的激光相干法表面轮廓测量技术研究
电子调制的激光相干法表面轮廓测量技术研究
作者:
王辉林
董元丽
基本信息来源于合作网站,原文需代理用户跳转至来源网站获取
测量
激光技术
直接调制
外差相干法
表面轮廓
摘要:
表面轮廓的测量可以评定零件表面的光滑程度,为了实现高精度测量,提出了应用电子直接调制激光束的频率和外差相干的方法对表面轮廓进行测量.采用差动多普勒的测量原理,实现数字测量及光路补偿;电子直接调制激光束频率的技术减小了系统体积,降低了成本;光纤传输提高了抗干扰的能力;测量信号的跟踪放大,提高了分辨率.通过电路调试并对产生误差的项进行分析补偿.实验表明,该技术的测量不确定度小于0.1%.
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文献信息
篇名
电子调制的激光相干法表面轮廓测量技术研究
来源期刊
激光与光电子学进展
学科
工学
关键词
测量
激光技术
直接调制
外差相干法
表面轮廓
年,卷(期)
2016,(1)
所属期刊栏目
仪器,测量与计量
研究方向
页码范围
120-125
页数
6页
分类号
TN209
字数
语种
中文
DOI
10.3788/LOP53.011201
五维指标
作者信息
序号
姓名
单位
发文数
被引次数
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G指数
1
王辉林
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董元丽
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外差相干法
表面轮廓
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
激光与光电子学进展
主办单位:
中国科学院上海光学精密机械研究所
出版周期:
半月刊
ISSN:
1006-4125
CN:
31-1690/TN
开本:
大16开
出版地:
上海市嘉定区清河路390号(上海市800-211信箱)
邮发代号:
4-179
创刊时间:
1964
语种:
chi
出版文献量(篇)
9127
总下载数(次)
28
总被引数(次)
35767
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