光学方法在真空计量中应用研究进展

• 作者: 习振华 吉康 孙雯君 张虎忠 成永军 李得天 袁征难
• 来源期刊: 真空与低温
• 学科: 工学
• 关键词: 真空标准 激光干涉 激光吸收光谱 动态真空 气体微流量
• 年，卷（期）: 2016,（6）
• 所属期刊栏目: 综述
• 页码范围: 1-8
• 页数: 8页
• 分类号: TB771
• 字数: 3994字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1006-7086.2016.06.001

摘要

光学方法在真空计量中的应用研究是真空计量中的新学科。固定长度法布里-珀罗光学谐振腔应用在粗低真空校准技术、可调谐二极管激光吸收光谱（TDLAS）应用在分压力校准技术、迈克尔逊干涉仪动态真空校准技术以及基于法布里-珀罗（Fabry-Pérot）光学干涉法应用在气体微流量测量技术。文中介绍了原理、校准装置的结构及性能等。从中可以看出，近年来随着学科的交叉融合，采用光学方法的真空计量技术大幅减小了现有真空计量标准的测量不确定度，促进真空计量由实物标准向量子标准转变，并对真空基本量复现，以及今后真空国际单位制的重新定义具有重要的意义。