基于MEMS方块谐振器的10 MHz振荡器

• 作者: NGUYEN Tan-loc 李昕熠 潘明争 鲍景富 鲍飞鸿
• 来源期刊: 太赫兹科学与电子信息学报
• 学科: 工学
• 关键词: 微机电系统谐振器 二阶模态 锚点损耗 相位噪声
• 年，卷（期）: 2016,（5）
• 所属期刊栏目: 微电子、微系统与物理电子学
• 页码范围: 820-824
• 页数: 5页
• 分类号: TN753.9
• 字数: 2098字
• 语种: 中文
• DOI: 10.11805/TKYDA201605.0820

摘要

方块谐振器的品质因数(Q)很高，但是插入损耗也很大。为了得到低相噪的微机电系统(MEMS)振荡器，需要进一步提高方块谐振器的 Q值，降低谐振器的插入损耗。通过支撑梁位置的合理设计可以达到极小的锚点损耗，从而实现非常高的品质因数。采用二阶面切变模态方块谐振器的设计方法，表现出了很多的优越性：Q 值更高，动态电阻更小(在间隙为0.25μm 时达到82.1?)。基于这种新型谐振器设计出的振荡器实现的相位噪声为：–156 dBc/Hz@1 kHz。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	鲍景富	电子科技大学电子工程学院	51	296	7.0	14.0
2	鲍飞鸿	电子科技大学电子工程学院	4	8	2.0	2.0
3	李昕熠	电子科技大学电子工程学院	4	8	2.0	2.0
4	NGUYEN Tan-loc	电子科技大学电子工程学院	1	0	0.0	0.0
5	潘明争	电子科技大学电子工程学院	1	0	0.0	0.0