基于FBG的新型微位移测头系统的研究

• 作者: 刘芳芳 陈丽娟 陈晓怀
• 来源期刊: 合肥工业大学学报（自然科学版）
• 学科: 工学
• 关键词: 微位移测量 光纤布拉格光栅 双FBG传感结构 匹配光栅滤波法
• 年，卷（期）: 2016,（5）
• 所属期刊栏目: 机械与汽车工程
• 页码范围: 582-585,646
• 页数: 5页
• 分类号: TH89
• 字数: 2578字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1003-5060.2016.05.002

摘要

为了提高微位移测量系统的测量精度,文章设计了以光纤布拉格光栅(fiber Bragg grating,FBG)为传感器的触发式测头系统.该测头采用双FBG悬接式探头传感结构,实时修正温度气流振动等环境干扰的影响;球形的探针结构扩大了测量范围;同时为了降低成本和简化结构,系统采用可调谐匹配光栅法对信号进行解调.利用PI线性微动平台和Renishaw XL-80激光干涉仪做出的实验结果表明,该系统量程为30μm,最优分辨力达到10 nm,非线性误差为150 nm,满量程重复性小于350 nm.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈晓怀	合肥工业大学仪器科学与光电工程学院	100	1009	16.0	25.0
2	刘芳芳	合肥工业大学仪器科学与光电工程学院	29	169	7.0	12.0
3	陈丽娟	合肥工业大学仪器科学与光电工程学院	16	51	5.0	6.0