微悬臂振动干涉测量非正交信号的处理算法

• 作者: 孔德靖 王选择 翟中生
• 来源期刊: 中国机械工程
• 关键词: 测量 微悬臂 相位差 椭圆拟合 相位解包裹
• 年，卷（期）: 2016,（4）
• 所属期刊栏目: 机械科学
• 页码范围: 444-448
• 页数: 5页
• 分类号: TH744.3
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-132X.2016.04.004

摘要

设计了干涉条纹形状对悬臂角度变化不敏感的干涉光路系统,针对实际干涉条纹光电转换信号的特点,提出了对难以保证正交化的两路信号进行实时椭圆拟合的方法.应用椭圆拟合及换算参数的结果,推导了干涉条纹相位变化的理论公式.最后,根据相位量与振动位移量的关系,以及振动位移连续性的特点,通过直接解包裹的衔接算法,得到了最终振动位移量.实验表明,该方法在保证足够采样频率的条件下,无需额外硬件计数电路,就能完成微悬臂振动位移的干涉量级精度的测量.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王选择		53	208	8.0	11.0
2	翟中生		45	109	6.0	8.0
3	孔德靖		2	2	1.0	1.0