NOA73材料的微透镜阵列快速制造技术

• 作者: 刘源 南雪莉 崔建利 张斌珍 段俊萍 赵龙
• 来源期刊: 中国激光
• 学科: 工学
• 关键词: 光学器件 微透镜阵列 NOA73 斜曝光 聚二甲基硅氧烷 软光刻
• 年，卷（期）: 2016,（7）
• 所属期刊栏目: 材料与薄膜
• 页码范围: 155-161
• 页数: 7页
• 分类号: TN23
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/CJL201643.0703003

摘要

针对传统微透镜阵列制作工艺复杂、成本高、周期长等缺点,研究了一种低成本、高效率制作微透镜阵列的技术方法.以SU-8负性光刻胶为主模结构材料,采用2次紫外斜曝光工艺,加工出主光轴平行于硅基的微透镜阵列作为主模结构.依次采用聚二甲基硅氧烷(PDMS)软光刻技术和NOA73紫外曝光技术对主模结构进行复制得到PDMS和NOA73 2种材料的微透镜阵列,用共聚焦显微镜观察微透镜阵列的表面形貌并搭建光学检测平台,测试微透镜阵列的成像效果.结果显示,NOA73材料的微透镜阵列具有更好的光学性能.通过上述工艺加工的微透镜阵列具有较好的成像效果和表面形貌,重复性好且加工周期短,可集成在微流式细胞仪中用于样本流的荧光检测,提高了检测精度.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张斌珍		107	535	12.0	18.0
2	赵龙		12	37	4.0	5.0
3	刘源		6	15	2.0	3.0
4	段俊萍		40	96	6.0	7.0
5	南雪莉		9	15	3.0	3.0
6	崔建利		13	34	3.0	5.0