基于NOA73微球与SU-8微柱的微探针制作

• 作者: 崔建利 张斌珍 徐苏坪 段俊萍 王伟 贾志浩
• 来源期刊: 强激光与粒子束
• 学科: 工学
• 关键词: 探针 坐标测量机 折射率补偿 微机电系统
• 年，卷（期）: 2015,（2）
• 所属期刊栏目: 微/纳米制备与测量技术
• 页码范围: 11-15
• 页数: 5页
• 分类号: TH706
• 字数: 286字
• 语种: 中文
• DOI: 10.11884/HPLPB201527.024103

摘要

集成紫外固化胶NOA73微球与SU-8微柱制造的亚毫米探针,可以作为关键部件应用于三坐标测量机.NOA73微球通过NOA73对其他溶液的界面张力形成,柱子由深紫外光穿过微球曝光SU-8形成.这种新技术利用甘油补偿NOA73与空气折射率差,使得紫外光透过NOA73微球后保持接近平行.最终得到高深宽比的探针结构,高度超过1 200 μm,微柱侧壁与基底呈89°.