热蒸镀法制备Z箍缩用铝镁合金箔材及其性能

• 作者: 余斌 刘旭东 周秀文 朱晔 杨毅 杨波 牛高 白黎
• 来源期刊: 强激光与粒子束
• 学科: 物理学
• 关键词: 铝镁合金 热蒸镀 粗糙度 带阵 Z 箍缩
• 年，卷（期）: 2016,（2）
• 所属期刊栏目: ICF 与激光等离子体
• 页码范围: 022002-1-022002-6
• 页数: 1页
• 分类号: O439
• 字数: 4552字
• 语种: 中文
• DOI: 10.11884/HPLPB201628.022002

摘要

厚度低于5μm 的 AlMg 合金箔材可作为带材切割的原材料应用于 Z 箍缩物理实验。利用热蒸镀方法，通过控制沉积速率在超光滑的 NaCl 基片上获得了 AlMg 薄膜，最终在脱膜后获得了厚度低于5μm 的无支撑 AlMg 箔材。实验对该箔材的厚度均匀性、表面粗糙度、衍射峰位、晶粒尺寸及距表面不同距离下的成份进行了分析表征。实验发现，此热蒸镀法制备的 AlMg 合金箔材的厚度均匀性优于8％，两面的表面粗糙度均小于180 nm，晶粒尺寸约20 nm；不同厚度样品的衍射峰位未明显偏移，箔材内应力很小；不同深度下 Mg 含量稳定分布，而在箔材表面杂质含量较高，在距表面6 nm 以下合金含量达到预期值并趋于稳定。热蒸镀法制得的无支撑 AlMg 合金箔材具有厚度可控且均匀、成分稳定、内应力小的特点，适用于制备 Z 箍缩带阵负载。