长度计量中干涉条纹的运用及影响干涉条纹清晰度的原因分析

• 作者: 辛永强 郭芮君
• 来源期刊: 甘肃科技纵横
• 学科: 工学
• 关键词: 长度计量 光波 干涉 影响因素
• 年，卷（期）: 2016,（9）
• 所属期刊栏目: 工业科技
• 页码范围: 34-36
• 页数: 3页
• 分类号: TH744
• 字数: 3842字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-6375.2016.09.011

摘要

光波干涉是长度计量重要的技术手段,从目前使用最为广泛的双频激光干涉仪到我们日常使用平晶检定工作台的平面度都离不开光波的干涉.本论述从光学仪器的干涉原理入手,分析迈克尔逊干涉系统在长度计量中的运用及演变,研究用光波干涉法检定工作台平面度的方法,以及多束光干涉原理和罗埃镜干涉原理在长度计量中的实际运用等方面;并从干涉光源单色性、干涉光源的强度、光源大小等方面对影响干涉条纹清晰度的原因进行了分析.通过对干涉原理和测量方法的研究,分析此类仪器中影响光波干涉的因素,方便使用人员发现并改进设备使用及测量中容易出现的问题,使测量过程更合理,从而得到理想的测量数据.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	辛永强		7	1	1.0	1.0
2	郭芮君		8	1	1.0	1.0